測量范圍:±0.5mm。
最大掃描速度:采用已知幾何形狀掃描模式時,其速度最高達 120mm/s。
超程量:XY 方向為 ±2.0mm,Z 方向為 ±1.7mm。
掃描探測誤差:使用 ?4×50mm 測針并配合 Crysta-Apex C700/900 機型測量時,MPETHP ≤ 2.3μm。
彈簧剛度:0.4N/mm。
測針規(guī)格:測針安裝規(guī)格是 M3 接口,使用 SM25-3 或 SH25-3 組件時,最長支持 200mm 測針;若用特定 5 款掃描模塊,有效工作長度可擴至 400mm。