測量范圍：X 軸、Y 軸、Z 軸分別為 120mm、120mm、80mm。

分辨力：0.02μm。

精度指標：按 JIS B 7440-2 標準，其最大允許長度測量誤差 MPEE 為，19 至 21℃時，(2.4+5.7L/1000)μm；15 至 25℃時，(2.7+6.4L/1000)μm；10 至 30℃時，(3.1+7.2L/1000)μm；10 至 35℃時，(3.4+7.9L/1000)μm，其中 L 表示測量長度，單位為 mm。

驅(qū)動速度：各軸驅(qū)動速度為 8 至 200mm/s，最大合成驅(qū)動速度達 340mm/s；測量速度為 1 至 15mm/s。

驅(qū)動加速度：各軸最大 3900mm/s2，最大合成加速度是 6750mm/s2。

導(dǎo)向與驅(qū)動方式：導(dǎo)向采用直動式硬軸承，無需氣源，具備免維護優(yōu)勢。驅(qū)動依靠 DC 電機與滾珠絲杠，并借助速度或位置反饋確保精準定位。

控制器：配備 UC400K 控制器，支持 SMS（Smart Measuring System）智能測量系統(tǒng)，能監(jiān)測設(shè)備狀態(tài)，利于實現(xiàn)智能工廠的設(shè)備集中管理。

測頭適配情況：可依據(jù)測量需求裝配接觸觸發(fā)式測頭 MTP-001 或掃描測頭 MPP-001 等 MACH Ko-ga-me 系列的專用測頭，抗噪性能更優(yōu)，能完成單特征快速檢測或連續(xù)掃描測量。